Université de Rennes 1
 

CENTRE   COMMUN   DE
MICROELECTRONIQUE
DE   L'OUEST

   
\ Equipements utilisés  
En salle blanche (technologie)
La salle blanche située au premier étage du bâtiment 11B, aile nord-ouest, s’étend sur 100 m2, est de classe 1000, et comprend :
2 salles de photolithogravure dont l'une est entièrement dédiée à la formation
Vue, depuis le couloir de circulation, de la salle de photolithogravure aménagée en 1997 et réservée aux formations initiales utilisatrices. Elle contient deux hottes à flux laminaires sous lesquelles les plaquettes sont nettoyées et enduites de résine. Le décapage chimique s’effectue sous la hotte chimique par voie dite humide (immersion dans une solution chimique). Un aligneur de masques manuel, à des fins pédagogiques, permet d’insoler les plaquettes. Les plaquettes sont visualisées par un microscope optique comportant une caméra vidéo, visible au premier plan, les épaisseurs des couches d’oxyde, principalement, sont contrôlées par ellipsométrie (baie de mesure au second plan).
une salle de fours

la salle des fours comprend deux batteries de fours de diffusion-oxydation-recuit et une batterie de fours bi-tube LPCVD. Cette salle comprend aussi un bâti de dépôt par évaporation en général réservé au dépôt d’aluminium.
Une salle de réacteur de dépôt de type APCVD et RIE
Le bâti de gravure ionique réactive (RIE) destiné à graver par voie sèche des couches. Il est particulièrement utilisé pour graver des motifs de silicium polycristallin et pour nettoyer les substrats de substances organiques par plasma d’oxygène avant les dépôts de silicium.
Une salle de dépôt LPCVD
Equipement destiné au dépôt de couche de silicium polycristallin. Ces couches interviennent aussi bien dans les dispositifs microélectroniques que dans les microsystèmes. Ce bâti LPCVD (Low Pressure Chemical Vapor Deposition) a été développé par le Groupe de Microélectronique et permet le dopage des couches in-situ aussi bien de type n (avec du phosphore ou de l’Arsenic) que du type p (avec du bore)
Un poste de caractérisation sous pointes
Un des équipements de caractérisation électrique installés en salle blanche. Il s’agit d’un des deux bancs de mesures sous pointes, c’est-à-dire que les caractéristiques des composants sont mesurables directement sur les plaquettes. Un analyseur de paramètres de semiconducteur trace directement les caractéristiques statiques des diodes et transistors. Les mesures peuvent être effectuées en fonction de la température. Le banc est installé dans une boîte noire qui protège les dispositifs de la lumière et de parasites électromagnétiques.
La salle blanche comprend les aménagements techniques associés :
un local de fabrication d'eau désionisée et de nettoyage des tube
un local de stockage des bouteilles de gaz
un compresseur d'azote gazeux installé à l'extérieur du bâtiment
les systèmes de ventilation, filtration et humidification (sur le toit)
En salles CAO (conception)
La Conception Assistée par Ordinateur (CAO) constitue une part importante de la formation des étudiants en microélectronique. Elle nécessite des stations de travail ou plus simplement des micro-ordinateurs lorsque les logiciels ne sont pas trop volumineux en besoins calcul et mémoire. Plusieurs salles sont donc installées à cette fin :
Salle conception et simulation technologique
Située au rez-de-chaussée du bâtiment 11B, cette salle comporte 4 stations et 2 PC, les logiciels utilisés sont dans l’ensemble SUPREM III et SUPREM IV acquis dans le cadre du CNFM. Les étudiants de la licence d’ingénierie électrique, de la licence et maîtrise EEA, du master 2 prof. «Composants Microélectroniques et Microsystèmes» et du master 2 rech. «MARS» utilisent cette salle.
Salle de conception électronique rapide hyper-fréquence
Située dans les locaux du Groupe "Systèmes de Télécommunications" de l’INSA cette salle comporte 6 stations de travail et logiciels associés, tels que ADS (CAO de circuits intégrés micro-ondes MMIC), COSSAP (CAO télécom), ou XILINX. Les étudiants de l’INSA, du master 2 rech. «MARS», du master 2 prof. «Composants Microélectroniques et microsystèmes» et du master 2 prof. «Systèmes Electroniques et Opto-électroniques», utilisent ces logiciels dans des séances programmées dans leurs enseignements
Salle de stations de travail
Cette salle est située dans les locaux de l’IFSIC (Université de Rennes 1) où les stations de travail utilise le lot de logiciels CADENCE ou COMPASS. Cette salle, maintenue par l’IFSIC, est utilisée par l’ensemble des formations de l’Université de Rennes 1 et de l’INSA au niveau bac+4 et bac+5 (Maîtrise EEA, Ingénieur DIIC, master 2 rech. et prof. et 5e année de la section ESC de l’INSA)
Pour la grande majorité des logiciels mentionnés, leurs mises à jour gérées par le CNFM (pôle de Montpellier) sont prises en charge par le CCMO.
Notons que SUPELEC dispose de sa propre salle de stations de travail destinées à la CAO de circuits intégrés VLSI (outils CADENCE) qui est principalement réservée à ses étudiants excepté dans le cadre de projets du master 2 prof. «Composants Micrélectroniques et Microsystèmes» ou du master 2 rech. «MARS» pour lesquels des étudiants de l’INSA ou de l’Université sont aussi utilisateurs